真空扩散泵油是真空扩散泵的核心工作介质，作为实现高真空、超高真空环境的关键耗材，其性能直接决定泵体的极限真空度、抽气速率与使用寿命。这类专用油品以有机硅为核心组分，兼具极低蒸气压、优异的热稳定性与化学惰性，区别于普通工业润滑油，需适配真空系统中高温蒸发、高速射流、冷凝回流的循环工况，随着下游高端领域对真空度要求的提升，其分子结构优化与制备工艺升级成为产业发展的核心方向。
真空扩散泵油的核心特性源于其精准设计的分子结构，主流产品以苯基甲基硅氧烷为核心骨架，苯基的引入显著提升油品的热稳定性与抗辐射性能，甲基则保障其流动性与化学惰性，二者协同使油品具备宽温域适应性与低返油率优势。优质产品需满足三大核心指标：极限真空度可达10⁻⁹~10⁻¹¹托，25℃时饱和蒸气压低于3×10⁻¹⁰托，高温300℃工况下仍能保持化学稳定，不分解、不产生有害挥发物，避免污染真空系统与被处理工件。
当前真空扩散泵油的主流制备工艺以缩聚反应为主，以高纯度硅氧烷单体（如甲基苯基二氯硅烷）为原料，在复合催化剂作用下发生缩聚反应，经提纯、脱低沸物、精密过滤等工序制成成品。传统工艺存在两大痛点：一是单体纯度不足，导致产品蒸气压偏高、返油率超标；二是缩聚反应可控性差，分子量大分布宽，影响抽气速率的稳定性，难以适配超高真空场景。
工艺升级聚焦精准调控与纯度提升两大方向。在原料端，采用纯度≥99%的高纯度单体，去除杂质与轻馏分，从源头降低油品蒸气压；在反应过程中，选用有机锡与胺类复合催化剂，精准控制缩聚反应温度与时间，使分子量分布窄化，提升产品性能均一性。同时，优化脱低沸物工艺，采用真空蒸馏结合膜分离技术，彻底去除轻组分杂质，使产品极限真空度进一步提升。此外，无溶剂生产工艺的应用的，减少挥发性有机物排放，契合绿色化工要求，推动产品从通用型向高端特种型升级，适配核工业、超高真空科研等严苛场景。